Ústav pro výzkum optických telekomunikací objednal systém rozprašování iontového paprsku k vytvoření laserových fazetových povlaků a mikrooptických zařízení.
HHI použije technologii IBS společnosti Veeco k vytvoření povlaků laserových fazet.
Veeco Instruments oznámila, že dodala své systémy Spector Ion Beam Sputtering (IBS) a Sirius Optical Monitor System do Fraunhoferův institut pro Telekomunikace(HHI).
Institut se sídlem v Berlíně uvádí, že tuto technologii IBS použije „k vývoji a výrobě laserových fasetových povlaků a dalších mikrooptických zařízení“.
„Vývoj sofistikovaných mikrooptických zařízení vyžaduje výjimečnou technologii rozprašování,“ komentovala Greta Ropers, vedoucí skupiny pro backend a obaly společnosti Fraunhofer.
„Systém Spector společnosti Veeco ve spojení se Sirius OMS zajistí, že vyvíjíme a vyrábíme zařízení světové třídy s nejvyšší propustností a opakovatelností procesů na automatizované zavedené platformě.“
Optické tenké filmy
Platforma Spector generuje vysoce kvalitní optické tenké filmy se zlepšenou úrovní produktivity a propustnosti, podle zákazníků. Na rozdíl od odpařovacích povlaků se tenké vrstvy rozprašované iontovým paprskem ukládají při vysokých energiích, což poskytuje výjimečnou kontrolu tloušťky a nízkou hustotu defektů pro aplikace laserového potahování. Sirius OMS zvyšuje schopnost platformy Spector propojením širokopásmového monitorovacího ovládání se stabilitou filmů uložených iontovým paprskem .
„Fraunhofer HHI, světový lídr v oblasti vývoje laserových fasetových povlaků nové generace a mikrooptických zařízení,“ řekl Dr. Adrian Devasahayam, viceprezident a generální ředitel divize Advanced Deposition and Etch (AD&E) společnosti Veeco. "Systém Spector poskytuje bezkonkurenční kvalitu a flexibilitu pro přesné optické potahování tenkých filmů a urychlí jejich vývojové cíle."
Financování tohoto projektu poskytla Forschungsfabrik Mikroelektronik, výzkumná továrna pro mikroelektroniku a nanoelektroniku napříč lokalitami, kompromitující jedenáct ústavů ve skupině Fraunhofer spolu s Inovacemi pro vysoce výkonnou mikroelektroniku a Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik. Systém byl prodán ve spolupráci s evropským partnerem společnosti Veeco,Veonis Technologies.
Čas zveřejnění: 31. října 2019